光学检测仪
视觉系统
工业相机　2M像素彩色数字相机
分辨率 10-20um可调
视野尺寸 32x24mm（分辨率：20um）
取像与运算时间250mm／FOV　4-5FOV／s
运动系统
X／Y轴驱动系统交流伺服驱动系统
X／Y轴编码器分辨率　0.3um
机械运动机构精密级滚珠丝杠＋滑轨
运动速度　500mm／s
运输轨道
适用基板尺寸　50x50–330x250mm
适用基板厚度　0.3-6mm
可适应基板弯曲度±3mm
使用基板上下净高上：30mm　下：60mm
外型尺寸
长x宽x高：700x1205x1362mm（不含信号灯）
设备重量　460kg
电源规格
单相交流220V±10％，50／60Hz
气压要求　0.5Mp
通讯方式标准SMEMA接口