1、独家1500万像素视觉系统

放大倍数恒定、无视差

2、10微米精度的远心复合透镜设计，放大倍数恒定，无视差。

3、先进的双投影，阴影波纹设计

4、2微米的高度准确性

5、精密交流伺服驱动电动机系统

6、极其简单的编程和操作

美陆MIRTEC MS-11E SPI在线检测仪技术参数：

高度分辨率：0.1μm

高度精度：2μm（校正精度）

高度重复精度：± 1%（校正精度）

体积重复精度：± 2%（校正精度）

锡膏高度：最大450μm,最小40μm

PCB弯曲：± 5mm

可检测：体积，区域，高度，XY坐标，桥连等等。

相机：1500万像素相机，3904*3904像素，

图像转换技术：120帧/秒

镭射PCB弯曲补偿：1μm/point

PCB最高间隙：25mm

PCB底部间隙：25mm

PCB最大弯曲：± 3 mm

机器人坐标系统：XY轴：精密交流伺服驱动电动机系统

                分辨率：1μm

                重复精度：± 10μm

PCB尺寸：50mm*50mm---510mm*460mm

电源：单相220-240V,50-60HZ,1.1KW

气压：5kgf/CO(0.5Pma);71PSI

机器尺寸：W1080mm *D1470mm *H1500mm

机器重量：950KG