安装方式

垂直、水平皆可安装VG25法兰

标准入气口

SUS TP O.D.1/4（O-ring fitting）

测量范围

1ppm～100%O21～1×10^-30atm O2

直线性

 ±1%FS以内或者±1ppm (两者取较大者)

在线性

±1%FS以内或者±1ppm (两者取较大者)

反应时间

90%应答:大约10秒以内(由低浓度到高浓度）

偏差

±2%FS以内/周

取样方式

扩散

取样温度

最高300℃

取样压力

2atm～ 1×10^-3Pa (1×10^-5Torr)

暖机时间

大约20分钟

组合

法兰的种类尺寸变化标准气体的线阀皆可灵活安装