防静电相关要求

日期:2009-11-18 00:45 点击:867

防静电方面相关要求

1) 包装及其标识要求

2) 包装ESD敏感器件

3) 非ESD敏感器件/组件的包装

4) 包装操作方法

5) IC管式包装操作方法：

① 开启挡销或管塞；

② 用防静电工具将IC送入管口；

③ 将管子末端略向下倾斜，使IC轻轻滑入管内；

④ 插上挡销或管塞。

注意：

A. 严禁直接用手接触IC，特别是其引脚。用手接触IC须戴防静电手套或指套。

B. 严禁急速倒转或晃动IC管，以免IC在管内发生猛烈碰撞。

C. 多个IC管需要捆扎时应采用橡皮筋或防静电胶带，严禁采用普通透明粘胶带捆扎。

托盘包装操作方法：

① 一般情况下使用原防静电托盘，将器件整齐平稳地放置在托盘的器件格中；

② 将托盘层叠扣紧，最上层应用托盘扣着，用橡皮筋把托盘扎紧，防止器件滑出；

③ 托盘外应用防静电屏蔽袋或防潮袋包装，有潮敏要求的必须用防潮袋抽真空密封包装。

注意：

A. 防静电托盘通常有特定的形状和尺寸规格，物料排列应整齐有序。

B. 禁止使用普通透明粘胶带捆扎防静电托盘。

防静电屏蔽袋和吸塑盒包装操作方法：

① 检查防静电屏蔽袋内外层及隔震外套（防静电气泡袋）完好无损、吸塑盒无破损；

② 将静电敏感器件或组件放入指定规格的屏蔽袋（吸塑盒）中；

③ 将屏蔽袋口多余的部分折叠，吸塑盒需将其啮合处扣紧以保证包装的封闭性，如要转运，须使用防静电胶带或防静电标签将屏蔽袋口、吸塑盒口封上。

注意：

A. 防静电屏蔽袋若无严重破损，应回收供循环使用。回收时应内外袋完整并叠放整齐，以每20个绑成一扎，送到指定的回收区域，由专人负责回收。

B. 防静电袋屏蔽层若出现较严重破损，如穿孔、破裂、复合层分离等，则应停止循环使用，直接作报废处理。

C. 每个防静电屏蔽袋原则上只能装一块单板组件，特殊情况下需同时装多块小板时必须用内袋层或其它防静电材料相互隔开，不得直接接触混放。

D. 严禁使用普通透明粘胶带或拉伸膜捆扎屏蔽袋和吸塑盒。
6）整件与整机包装

ESD敏感的组件、部件应采用防静电屏蔽包装，并使用静电耗散的填充材料。

插框和整机带板运输时，必须使用防静电袋对其进行整体包装。

7）存储、周转、运输

8） ESD日常检查及测试要求

9）员工每日自查程序

10）培训

11）月自检程序

静电学基本概念

静电 Electrostatic; Static Electricity 物体表面过剩或不足的一种处于相对稳定状态的（静止的）电荷。由它所引起的磁场效应较之电场效应可以忽略不计。（静电可由物质的接触与分离、静电感应、介质极化和带电微粒附着等物理过程而产生）。

静电场 Electrostatic Field 静电荷在其周围空间所激发的电场。它是一种特殊的物质，其最基本的特征是对位于该场中的其它电荷施以作用力，且不随时间而改变。

静电位 Electrostatic Potential 静电场的标量函数。其梯度冠以负号等于电场强度。静电场中某点的静电位值等于把单位正电荷从该点移至无限远处静电场力所作的功，它亦等于单位正电荷在该点的电位能。

静电感应 Electrostatic Induction 在静电场影响下引起物体上电荷重新分布的现象。即将带电体靠近某一介质时，在该介质表面应感应而带电荷，并形成感应电场。

静电放电 Electrostatic Discharge （ESD）带有不同静电电势（电位差）的物体或表面之间的静电电荷转移。分接触放电和电场击穿介质放电。静电电荷的突然释放能够对ESD敏感器件造成损害。

介质击穿放电 Dielectric Disruptive Discharge 当带电体周围的场强超过周围介质的绝缘击穿场强时，因介质产生电离而使带电体上的电荷部分或全部消失的现象。

人体模型 Human Body Model（HBM）模仿人体静电对器件的放电特征，其电路与测试方法由ESD S5.1标准规范。

带电器件模型 Charged Device Model（CDM）用于描述器件带有静电荷之后，通过接地而放电的静电放电现象。由ESD DS5.3.1标准规范。

机器模型 Machine Model（MM）模仿机器设备带电对器件的放电特征，其电路与测试方法由ESD-STM5.2规范。

静电敏感度 Electrostatic Discharge Susceptivity（ESDS）元器件的静电敏感度是器件所能承受的静电放电电压阈值。

静电敏感器件 Electrostatic Sensitivity Device（ESSD）静电敏感器件是指对ESD（Electrostatic Discharge）的承受能力较低，在制造、运送、储存和测试等过程中容易因静电放电而遭致损伤的器件。器件对ESD的承受能力可以用静电放电敏感度表示，它是指器件所能承受而不至于遭受损坏的最大静电放电电压，基本单位是伏（V）。

2 静电起电、静电积聚和静电消散

静电起电 Electrostatic Electrification 使电介质、绝缘材料或导体等物体产生静电荷的过程。

摩擦起电 Triboelectrification 用摩擦的方法使两物体分别带有等值异号电荷的过程。

冲流起电（流动起电） Streaming Electrification 液体类物质与固体类物质接触时，在接触界面形成整体为电中性的偶电层。当此两物质作相对运动时，由于偶电层被分离，电中性受到破坏而出现的带电过程。

剥离起电 Stripping Electrification 剥离两个紧密结合的物体时引起电荷分离而使两物体分别带电的过程。

喷射起电 Injection Electrification 固体、粉体、液体和气体类物质从小截面喷嘴高速喷射时，由于微粒与喷嘴和空气发生迅速磨擦而使喷嘴和喷射物分别带电的过程。

吸附起电 Attached Electrification 物体由于吸附场所中的带电微粒而使之产生静电的过程。

沉降起电 Sedimentation Electrification 各种固体微粒、液体、气体在相到混合接触时，由于比重差异发生沉降，使在不同物质交界面上形成的偶电层发生电荷分离而产生静电的过程。

溅泼起电 Splash Electrification 溅泼液体时，微小的非湿润液滴落在物体表面并在其界面产生偶电层。由于液滴的惯性滚动而发生电荷分离，使液滴及物体分别带上不同符号电荷的过程。

喷雾起电（飞沫起电） Spray Electrification 射在空间的液体类物质由于扩展分散和分离，使之形成许多微小液雾和新的界面，当此偶电层被分离时而产生静电的过程。

感应起电 Induced Electrification 利用静电感应原理，使导体带电的过程。

破裂起电 Crack Electrification 固体或粉体类物体破裂时发生电荷分离，由于正负电荷平衡受到破坏而产生静电的过程。

碰撞起电 Collision Electrification 粉体类物体由于粒子与粒子或粒子与固体之间发生碰撞，形成快速的接触和分离而产生静电的过程。

滴下起电 Dropping Electrification 附着在器具外壁表面上的珠状液体逐渐增大，由于自重形成液滴（或水滴），在坠落脱离时而产生静电的过程。

极化起电 Polarized Electrification 在外电场作用下，由于介质极化而使其内部及界面上出现束缚电荷的过程。

静电（起电）序列 Electrostatic（Electrification） Series 根据两种物质相互接触时产生静电的极性，将各物质依次排成的序列（根据这种序列，前后两种物质接触时，前者带正电，后者带负电）。

静电积聚 Electrostatic Accumulation 由于某种起电因素使物体上产生电荷的速率超过电荷的消散速率而在其上呈现同性电荷的积累过程。

静电消散 Electrostatic Dissipation 带电体上的电荷由于静电中和，和静电泄漏，静电放电而使之部分或全部消失的现象。

静电中和 Electrostatic Neutralization 带电体上的电荷与其内部和外部相反符号的电荷（电子或离子）的复合而使所带静电部分或全部消失的现象。

静电泄放 Electrostatic Leakage 将静电荷安全传导到大地。

电荷驰豫（缓和）时间 Relaxation Time of Discharge 带电体上的电荷（或电位）消散（或下降）至其初始值的1/e时所需要的时间。

电荷半值时间（半衰期） Half value Time of Discharge 带电体上的电荷（或电位）消散（或下降）至其初始值的一半时所需要的时间。

静置时间 Time of Repose 在有静电危险的场所进行生产时，由设备停止操作到物料（通常为液体）所带静电消散至安全值以下，允许进行下一步操作所需要的间隔时间。

衰减时间 Decay Time 静电电压从峰值电压降低到给定比例的时间。例如：在12%相对湿度的情况下，从5000V降低到50V的衰减时间小于等于0.1秒。

3 静电放电现象

尖端放电 Discharge at Sharp Point 在带电导体曲率半径很小处所发生的放电现象。

电晕放电 Corona Discharge 发生在不均匀的、场强很高的电场中的辉光放电。电晕放电时，在电极周围有微弱发光的电晕层。

辉光放电 Glow Discharge 当电场强度超过某值时，以发光形式表现出来的气体中电传导现象。此时，没有大的嘶声或噪声，也没有显著的发热或电极的蒸发。

刷形放电 Brush Discharge 指发生于带电量大的绝缘体与导体之间空气介质中的一种放电形式，其放电通道不集中，呈分枝状。

火花放电 Spark Discharge 由于分离两电极间的空气或其它电介质材料突然被击穿，使电流急剧上升，电压急剧下降，引起有瞬间闪光、并有集中通道的短暂放电现象。

表面放电 Surface Discharge 当带静电的物体接近接地体而在两者间发生放电时，沿带电体表面产生的发光放电，呈树枝状。

对地电压 Voltage to Earth 带电体与大地之间的电位差（大地电位为零）。

击穿电压 Breakdown Voltage 使电介质击穿的最低电压。

4 防静电材料及制品

电阻率 Resistivity 表征材料导电性能的物理量。其倒数为电导率。

表面电阻率（ρ_S ） Surface Resistivity 沿试验物质样品表面电流方向的直流电场强度与单位长度的表面电流之比。其在数值上等于物质表面每单位宽度的电位梯度和电流之比。其中，电位梯度按照材料中电流方向测量。表面电阻率表征固体介质表面的导电能力。

体积电阻率（ρ_V ） Volume Resistivity 沿试验物质样品体积电流方向的直流电场强度与该处电流密度之比，其在数值上等于电位梯度与电流密度之比。其中，电位梯度按照物质中电流方向测量。体积电阻率表征固体介质内部的导电能力。

表面电阻 Surface Resistance 两个特定的放置于材料同一面的电极之间的电压与它们通过电流的比值。单位为ohm。

体积电阻 Volume Resistance 材料厚度上的直流电压，与通过材料的厚度方向的电流的比值。两个测试电极放置于材料相对面的对应位置。

静电保护材料 Static Protective Material 具有以下一种或多种能力的材料，被称作静电保护材料：限制产生静电，迅速耗散材料表面或体积上的静电荷，屏蔽静电放电、火花放电、静电场。静电保护材料根据其表面电阻率的大小（或导电性）分为导体材料和静电耗散材料。

导体材料 Conductive Material 表面电阻小于10⁴Ω的静电放电保护材料。导体能够产生并积累静电电荷，但是导体接地静电电荷便立即泄放，因此保证导体接地可以防止静电电荷的产生和积累。

静电耗散材料 Static Dissipative Material 表面电阻大于或等于10⁴Ω、小于10¹¹Ω的静电放电保护材料。静电耗散材料产生静电的能力和泄放静电的速度受到限制，静电耗散材料接地可以使静电电荷安全泄放。静电耗散材料又名防静电材料（Anti-static Material）。防静电材料在正常的使用周期内，摩擦起电电压应该低于100V。

静电绝缘材料 Insulative Material 表面电阻大于或等于10¹¹Ω的材料。绝缘材料能够产生并积累大量的静电电荷（很高的静电电压），即使接地电荷也很难泄放。

导电纤维 Conductive Fibre 全部或部分使用金属或有机物以及防静电剂等导电材料或亚导电材料制成的纤维的统称。导电纤维分金属导电纤维和有机导电纤维。

防静电纤维 Anti-static Fibre 采用加入防静电剂的亚导电材料所制成的纤维。

导电橡胶（塑料） Conductive Rubber（Plastics）为了降低橡胶〔塑料〕材料（或制品）的电阻率，在生产工艺中采用某种措施（如掺入导电材料）而制成的橡胶〔塑料〕。

导电地面（板） Conductive Floor 由电阻率小的材料制成的、旨在提供静电泄漏途径的地面〔板〕。

导电涂料 Conductive Paint 涂覆在物体表面，能形成牢固附着的连续薄膜，并能导除积聚其上电荷的一种工程材料。

导电垫 Conductive Cushion 为了防止人体及地面上的金属物体的静电带电，在其生产加工中混入金属和碳等导电材料而制成的导电良好的垫子。

防静电织物 Anti-static Fabric 通过多种工艺方法，使纤维表面电阻率降低，从而形成或生产出的一种具有防止静电积聚的织物。

防静电工作服 Anti-static Clothing 为了防止人体和衣物的静电积聚，用防静电织物为衣料而缝制的工作服。

防静电鞋 Anti-static Shoes 鞋底用电阻变化小的防静电材料制作，不仅具有防止人体静电积聚的性能，而且还能避免因偶然接触工频电（220V以下）而导致人体遭受电击的鞋类。防静电鞋的体积电阻为100KΩ～1000MΩ。

导电鞋 Conductive Shoes 具有良好的导电性能，因此可在尽可能短的时间内消除人体静电积聚，但不能防止因偶然触及工频电（220V以下）而导致人体遭受电击的鞋类。导电鞋的体积电阻不大于100KΩ。

防静电剂 Anti-static Additive 加入物体中以提高其电导率，使其不能积聚危险的静电，且又不影响该物体其它性能的物质。液体的防静电剂又名防静电液，可以用于绝缘材料的表面处理，以改善绝缘材料表面的导电性能。

5 静电事故及其防护

静电安全 Electrostatic Safety 指在生产过程中不发生由于静电现象而导致人的伤害、设备损坏或财产损失的状况和条件。

静电安全工程技术 Engineering and Technology of Static Safety 为消除和防止静电灾害与事故而采取的各种工程技术方法或防护措施（如静电接地、静电屏蔽、静电缓和、添加防静电剂、相对湿度控制、装设静电消除器，以及静电检测、监控等）。

（静电）电磁危害 Electromagnetic Hazard 由于静电放电产生的电磁辐射而对电子元器件及仪器所产生的有害影响，如电子仪器发生误动作或故障；或电子元器件被击穿以及发生静电噪声等现象。

静电障害 Static Accident 由于某种静电现象的作用，导致生产系统、设备、工艺过程、材料、产品等发生故障、损害（如生产率不降、产品质量不良，以至失效、破坏等）的现象或事件。

静电灾害 Static Disaster 由于静电放电而导致发生重大财产损失或众多人员伤亡的危害、损害的现象或意外事件（如火灾、爆炸、静电电击以及由此造成的二次事故等）。

（静电）二次事故 （Static）Second Accident 由于静电电击使人体失去平衡，导致人员工由高空坠落或触及其它障碍物而引起的伤害；或造成已存在的火灾、爆炸的后果进一步扩大等危害的现象或事件。

静电电击 Electrostatic Shock 由于带电体向人体，或带静电的人体向接地的导体，以及带静电的人体相互间发生静电放电，其所产生的瞬间冲击电流通过人体而引起的病理生理效应。

静电损伤 ESD Damage 由于静电放电造成的电子元器件性能退化或功能失效。

人体静电 Electrostatic on Human Body 人体由于自身行动或与其它的带电物体相接触或相接近而在人体上产生并积聚的静电。

人体电容 Capacitance of Human Body 与人体位置、人体姿势、鞋和地面及其它客体等因素有关的人体对地或对其它客体所构成的电容。

人体电阻 Resistance of Human Body 人的体内电阻与皮肤电阻之总和。

静电保护工作区 ESD Protected Area（EPA）为保障静电敏感器件（ESSD）免受静电伤害而采用必要的防静电材料和设备建立和装备起来的区域，通常有明显的防静电警示标志。进入防静电工作区域的人员，必须严格遵循防静电作业规范。EPA内的静电产生和静电放电受到控制，能够防护ESD损害。又名静电放电控制区：ESD Controlled Area（ECA）。

法拉第笼 Faraday Cage 根据法拉第效应，用导体材料制作的封闭的盒子（电连续的密封容器），盒子内部的电场强度不受外部电场和静电放电的影响而处于一个等电势状态，亦即屏蔽盒，可提供对静电放电（ESD），电磁干扰（EMI），射频干扰（RFI）的屏蔽。法拉第笼的功能与其是否接地无关。

静电屏蔽 Electrostatic Shielding 采用导电材料（表面电阻小于1×10⁴Ω）包裹器件，对静电敏感器件形成屏蔽保护。屏蔽材料用于保护内置的静电敏感器件不会受到电容感应或者直接静电放电的损伤，屏蔽材料形成封闭环路即构成法拉第笼。

地 Earth/Ground 任何一点的电位按惯例取为零的大地或导电物质。

（静电）接地 Grounding 将金属导体（通过接地极）与大地进行电气上的连接，使金属导体的电位接近大地电位的措施。通常是连接到能供给或接受大量电荷的物质（如地面、舰船或运载工具外壳等）。接地是一种保证所有导体处于零电压等电势平面的方法。接地是预防静电放电的最可靠的方法。

硬接地 Direct Grounding 直接接地或通过一低阻抗同大地相连。

软接地 Indirect Grounding 通过足够的阻抗接地，从而把电流限制在人体安全电平（一般为5mA）下。软接地所需阻抗取决于靠近接地点的人员所可能接触到的电压电平。

EPA接地点 EPA ground bonding point（EBP） EPA内设备接地的专用连接点。

接地电阻 Earth Resistance 被接地体与地下零电位面之间接地引线电阻、接地器电阻、接地器与土壤之间的过渡电阻和土壤的溢流电阻之和。

泄漏电阻 Leakage Resistance 物体在不带电的情况下，从被测点到接地连接系统间的等效电阻。

静电泄漏通道 Channel of Electrostatic Leakage 带电区的静电荷通过带电体内部和表面而使之泄漏的途径。

人体接地 Human Body Grounding 通过使用导电垫、导电地面、导电鞋、腕带或其它各种接地用具使人体与大地保持通导状态的措施。

（静电）连接 （Electrostatic） Connection 将彼此间没有良好导电通路的物体进行导电性连接，使相互间大体上处于相同电位的措施。

静电接地连接系统 Electrostatic Connection System of Grounding 带电体上的电荷向大地汇漏、消散的外界导出通道。

接地电极 Grounding Electrode 埋入大地以便与大地良好接触的导体或几个导体的组合。

防静电 Antistatic 这个术语指防止摩擦或感应电荷产生，它不是一种材料类型。材料通过防静电媒质处理后可以减少静电荷的产生。

防静电操作系统 Electrostatic Operating System 根据防静电要求，为建立保护面积和进行保护性操作所必须配置的设施和工具的统称。

人体静电防护系统 Static Protective System of Human Body 人体静电防护系统主要由防静电工作服、腕带、鞋袜、帽、手套或指套、围裙、脚套等组成。这种整体的防护系统兼具有静电泄露、中和与屏蔽的功能。

人体防静电接地系统 Electrostatic Grounding System of Human Body 人体防静电接地系统是为有效泻放人体表面的静电、防止静电积累而构建的一套连接人体和大地的完整接地通路，主要由防静电腕带或脚环、防静电鞋、防静电台垫、防静电地面或地垫、接地支线和公共接地线组成。

静电消除器 Electrostatic Eliminator 一种能产生消除带电体上的电荷所必要的正负离子的设备或装置。

放射性静电消除器 Radioactive Static Eliminator 利用放射性同位素产生的射线，使周围空气电离成正负离子，以中和积聚在带电体上的表面异性电荷的一促静电消除装置。

离子化静电消除器 Ionizing Static Eliminator 凡利用空气电离以产生为中和带电体上的表面异性电荷所必须的正负离子的各种型式静电消除装置的统称。

电晕放电式静电消除器（外加电源式静电消除器） Static Eliminator by Corona Discharge 利用外加电源能量使电极发生电晕放电，从而产生为中和带电体上的表面异性电荷所必须要正负离子的一种静电消除装置。

自感应式静电消除器（自放电式静电消除器） Static Eliminator by Self Inductance 利用带电体自身的静电能量感应于电极，借此电晕放电而产生正负离子，以中和原带电体上的表面异性电荷的一种静电消除装置。

ESD敏感器件的分类和等级

技术文档和失效分析显示器件的ESD失效和一系列相互关联的效应有关。一些影响器件ESD敏感程度的因素包括ESD电流、能量包络、放电的上升时间、器件设计、制造技术和器件的封装类型等。能量型敏感器件的损伤是由于流过双极性结电阻、保护电阻或者保护MOS三极管的过电流引起。电压敏感性器件的损伤是由于ESD电压超过了器件的击穿电压引起。为了比较不同器件的ESD敏感度等级，逐渐发展了三种测试模型，分别为人体模型（HBM）、机器模型（MM）和带电器件模型（CDM），其中最常用的模型为人体模型（HBM）。

HBM模式的静电敏感等级分类

静电敏感器件等级普遍采用人体模式静电放电进行划分（人体带电和器件接触放电），所有的静电敏感器件或组件按照人体模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级：

HUMAN BODY MODEL

CLASS VOLTAGE RANGE

Class 0 0 volts to <=249 volts

Class 1A 250 volts to <=499 volts

Class 1B 500 volts to <=999 volts

Class 1C 1000 volts to <=1999 volts

Class 2 2000 volts to <=3999 volts

Class 3A 4000 volts to <=7999 volts

Class 3B 8000 volts to <=15999 volts

非静电敏感器件 >=16000 volts

MM模式的静电敏感等级分类

器件静电敏感等级的机器模式主要用于器件的自动化处理过程的分析（带电金属和器件接触放电），静电敏感器件或组件按照机器模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级：

MACHINE MODEL

CLASS VOLTAGE RANGE

M1 <100 volts

M2 100 volts to <200 volts

M3 200 volts to <400 volts

M4 >=400 volts$Page_Split$

CDM模式的静电敏感等级分类

器件静电敏感等级的充电器件模式主要用于器件自身带电后的放电分析，静电敏感器件或组件按照充电器件模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级：

CHARGED DEVICE MODEL

CLASS VOLTAGE RANGE

C1 <125 volts

C2 125 volts to <=250 volts

C3 250 volts to <=500 volts

C4 500 volts to <=1000 volts

C5 1000 volts to <=1500 volts

C6 1500 volts to <=2000 volts

C7 >=2000 volts

附录C： EPA内防静电接地规范

防静电地线的设置

防静电地线专供静电工程器具和人体泄漏静电电荷使用，它不得接在电源零线上，也不得与防雷地线共用。防静电地线有两种敷设方法：

方法1：从专门埋设的地线接地体引出的接地线，单独敷设到生产线的防静电作业岗位；单独敷设的接地导线通常使用3mm厚、约25mm宽的紫铜皮或用截面大约为4~6mm²的铜芯软线单独引入。

方法2：采用三相五线制供电系统中的电气保护地线为防静电地线，引入电源零线的同时，单独引出大地地线作防静电接地线，工程上称为“一点引出电阻隔离”。电源主变电箱引出的电气保护地线通过接地地桩（地线埋设方法）与大地连接，电气保护地线到大地的保护接地电阻应小于4Ω。如下图所示：

使用方法一敷设专门的防静电地线专用于人体、台垫、防静电器具等的防静电软接地，它与电气保护接地线并存，设备、仪器、AC工具等必须以硬接地的方式接入电气保护地线接地，因此EPA内同时需要维护两条接地母线，防止两条接地线的混用，增加一些维护控制的难度。该种方式主要用于静电非常敏感的器件操作环境，如IC制造、光器件制造、磁头制造等。

方法二中采用电气保护地线为防静电地线，电气保护地线接地可靠，有例行的维护，便于控制。人体腕带、台垫、防静电器具等串连1MΩ的电阻接入电气保护地线（软接地），设备、仪器、AC工具等直接接入电气保护地线（硬接地）。

通常防静电接地母线采用方法二，即用电气保护地线作为防静电地线。

埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数愈小愈好；接地体与土壤的接触面积要大，接触密度要高，接触要紧。埋设地线需要注意：接地线与接地体接头必须焊接牢固，要有足够的机械强度，引线不要过长；要采用耐腐蚀的接地体金属。

电气保护地线应该按照动力配电安全管理制度定期进行检测维护，每半年至少检测一次地线配置系统电阻值，要求室内电气保护地线到大地的接地电阻小于4Ω。

7.1.1 EPA内接地方法

EPA内的所有设备、仪器、AC工具、金属体等必须直接连接到电气保护地线上，并要求这些物品的接地点到电气保护地线上的连接电阻（接地电阻）小于1Ω；人体腕带、防静电台垫、防静电地垫、导体和静电耗散的材料防静电器具等需要串接1MΩ电阻（或等效串接1MΩ的电阻）后连接到地线配置系统上。

防静电设施的接地，需要使用横截面积不小于2mm²的多股绞合铜芯软线或电缆作为接地线，接地线宜采用黄绿色线，连接点应该采用螺钉、焊接、双线交绕的紧固连接方式，保证连接点连接可靠、接触电阻小，禁止使用鳄鱼夹、挂接等不可靠的连接方式。

下图为一个典型的EPA接地系统：

EPA内的接地需要满足下列要求：

⑴ 防静电工作区应在合适的位置提供接地端子或香蕉插口，以便于操作者腕带的接地。接地端子到防静电地线之间的电阻应小于1ohm。

⑵ 在落地设备、流水线、产品整机等上面本身应提供防静电腕带的接地接口，且应为香蕉插口。

⑶ 香蕉插口到防静电地线之间的电阻需要每月测试并纪录（使用欧姆表）。

⑷ 当工作台接触到它附近的最高可能电压时，工作台表面的到地电阻应能保证最大对地漏电不超过0.5mA。

⑸ 静电耗散型工作表面到防静电地线的接地电阻应该保持在7.5×10⁵Ω≤R＜1.0× 10⁹Ω（不依赖于相对湿度）。

⑹ 防静电工作区第一次安装和移位后，接地电阻应该重新测试，并保证在规格之内。

⑺ 为了防止静电敏感器件与工作区内的设备接地导体外壳或大面积的金属（如工作台边缘）偶然接触，这些位置必须覆盖静电耗散材料或通过其他方法隔离。

⑻ 所有连接电源主线的设备、仪器、工具等，都必须可靠地和电源系统安全地线相连接。单相电源插头插座必须使用具有接地芯的三芯插头插座，且仪器工具、设备的外壳都要增加加强接地线，采用紧固连接。

⑼ 所有静电敏感器件、单板在加电测试之前都必须保证接地良好，因此禁止在产品测试过程中带电插拔单板和器件，除单板具有热插拔设计和特殊测试需要外。

⑽ 由于使用交流电源安全地线作为防静电地线，因此固定接线的工作区的移位、任何便携式工作区的初次连接和后续移位，都必须使用电源接头分析仪进行测试。

⑾ 腕带的接地线应该直接接地，而不应该通过任何其他设施，如工衣，工作表面等接地。
⑿ 串联接地是不可接受的一种接地方法。

⒀ 高静电敏感产品制造装配区域建议采用ESD接地保护检测控制器，以保证人体（腕带）和台垫的实时可靠接地。如果使用，应该每年进行功能测试并校准。

⒁ 机柜在测试过程中必须接防静电地线，机柜的装配过程中，如机柜上有ESSD，也必须进行接地。

⒂ 由于安全原因，EPA内裸露的大面积金属平面、导体部件都必须直接接地（硬接地）。

⒃ 防静电工作台的接地推荐采用公共接地点（Common point ground）方式，工作台上及其周边的仪器、测试架、工具（如电批、烙铁）、防静电器具、台垫、台面、地垫、腕带插口等都连接到公共接地点（接地连接排）后，再从公共接地点连接到电气安全地线上，要求所有物品到安全地线上的硬接地电阻小于1ohm。工作台的公共接地点方式便于接地连接，工作台的移动可以保证工作台的接地系统变化最小。工作台的公共接地点接地方法参见下图：

ESD敏感器件的分类和防护

ESD敏感分类

静电敏感器件的敏感等级分别按照HBM、MM、CDM三种模式来进行分类。一般来说，器件的静电敏感电压的高低在三种模式之间没有必然的对应关系。

没有特殊说明时，本规范主要以人体模式来描述器件静电敏感电压的相关问题。静电敏感组件的敏感等级按照其上所安装的最敏感器件的敏感等级来确定。

器件ESD敏感度测试标准：

ESD模型	ESD标准及测试方法
HBM	JESD 22-A114-B:2000 ESD STM5.1 MIL-STD-883 Method 3015 MIL-STD-750 Method 1020 MIL-PRF-19500 MIL-PRF-38535
MM	JESD 22-A115-A:1997 ESD-STM5.2
CDM	JESD 22-C101-A:2001 ESD-STM5.3.1$Page_Split$

1. 静电防护区域(EPA)等级分类及基本的ESD控制措施要求

1.1 静电防护区域(EPA)

所有进行静电敏感物料生产、操作、周转、存储的区域都是静电防护区域，都必须进行静电电压的控制，保护物料免受静电损伤。因为在通常的电子设备生产、组装和维护现场，各种静电产生材料和由他们所产生的电场是很普遍的现象，这些静电产生材料和由其所产生的电场有可能导致静电敏感器件的损伤。

虽然在静电敏感器件的存储和转送过程中，具有屏蔽性能的导体容器可以提供必要的保护。但是，对于静电敏感器件也还存在着屏蔽容器外的操作。在这种情况下，静电敏感器件非常容易受到损伤，因此，有必要提供一个安全的工作区域。防静电工作区（EPA）正是为此目的而设计。

这里,静电敏感物料主要有集成电路芯片（IC）、场效应管（MOS管）、光电器件、厚膜、板卡及其组件、产品，高静电敏感器件主要有CMOS、GaAsFET等高频高速器件。

1.2 EPA等级分类

根据静电防护区域内静电敏感物料的等级和存在的静电放电的严重程度, EPA可划分为两个等级，EPA-I和EPA-II。

一级EPA为静电放电严格控制区域：生产加工和操作被评估为静电高风险的区域以及静电高敏感级别的产品的制造区应划分为一级EPA。一般单板加工、单板测试、单板模块组装区域，高频度、大量使用静电敏感级别高于Class 1B的器件的产品制造区和使用静电敏感级别高于Class 1A的器件为产品的极关键器件的产品制造区应定义为一级EPA，如无线产品和传输产品制造区。一级EPA采用全面严格的静电防护措施。

二级EPA为基本的静电放电控制区域：涉及静电敏感物料的各个生产操作区域至少要定义为二级EPA，必须实施最基本的静电放电控制措施。

1.2.1 EPA工作区的基本要求

为了确保工作区的防静电安全，它必须满足以下要求：

⑴ 防静电区域内的所有电子元器件都要视为静电敏感器件对待。

⑵ 对于任何在保护状态之外（处于法拉第笼之外）的静电敏感器件的操作，都必须在防静电工作区内进行。

⑶ 在防静电工作区之间的非防静电区域传送的静电敏感器件必须处于安全的保护状态。

⑷ 防静电工作区的设计应能保证静电敏感器件不易接触到仪器设备的金属接地外壳。

⑸ 防静电工作区内禁止放置工作不必须的静电产生材料，如未作防静电处理的塑料袋、盒子、泡沫、带子、笔记本、纸片、个人用品等物品，这些材料必须距离静电敏感器件30厘米以上。

⑹ 所有在工作台上使用的清洁剂，溶剂，涂覆材料、气雾剂等辅助材料都必须经过静电控制负责人的批准。

1.2.2 EPA的环境要求和原则

EPA环境设计原则：

⑴ 抑制静电荷的积累和静电压的产生。

⑵ 安全、迅速、有效的消除已产生的静电荷。

⑶ 确定静电防护所应达到的程度。一般要求EPA内静电电压绝对值应小于100V。

EPA的基本环境要求：

⑴ 明确的区域界限和防静电警示标志。

⑵ 防静电接地系统。

⑶ 防静电工作台。

⑷ 防静电的设备工具和包装转运材料，在EPA内禁止使用易产生静电荷的材料。

(5) 同时,需要考虑如下周边环境的防静电性能：

A. 墙壁面料应使用抗静电型墙纸，一般情况下允许使用石膏涂料或石灰涂料墙面，禁止使用普通塑料制品。

B. 天花板材料应选用抗静电型材料制品，一般情况下允许使用石膏板制品，禁止使用普通塑料制品。

C. 工作区内使用的门帘、窗帘、区域隔离帘等应是防静电材料制成，表面电阻值应小于1×10¹¹Ω，禁止使用普通塑料和化纤制品。

EPA的温湿度要求

防静电工作区有必要进行温度和湿度的控制，湿度控制是静电防护的一项关键措施。EPA的温湿度控制要求：

1) 温度：20~30℃; 相对湿度(RH)：30~55%

2) 产品物料对环境温湿度有特殊要求时，应根据物料的特性需求和实际条件采取局部环境保证措施。

3) EPA内应配备温度计和湿度计，并在每班次上班之前作一次记录。当相对湿度超出规定的范围时，必须通知工艺人员协调动力维护、环卫等部门采取适当的加湿或抽湿措施，如往地面喷洒适量水（符合安全要求）、使用加湿器或抽湿机等。

1.2.3 固定、可移动和便携式EPA

根据静电敏感器件的实际操作环境划分的EPA可以是一个区域、工作台、推车、工作台垫、货架或传送带中的任何一种，同时包括静电敏感器件周围1米内的范围。

EPA可以是固定的，可移动的或便携式的。

⑴ 固定EPA是指必须使用工具拆除导线、水管或其他固定物才能移动的工作区，如一般生产制造区域。

⑵ 可移动的EPA在移动时不需要工具来拆除连接，如防静电推车。生产中一些特殊操作和库房的捡料分料操作可以使用防静电推车实现一个移动的EPA，此时推车的表面必须铺设防静电台垫并使台垫具有接地通路（软接地）。

⑶ 便携式工作区是一个带有接地系统的防静电工作表面，可以很方便的从一个区域携带到另一个区域，如用服防静电工具包。工程现场为了便于ESD控制，工程人员可以使用一块特殊的防静电垫，该防静电垫必须具有接地措施并有防静电腕带的接地接口，并配备一些辅助的防静电工具。

1.3 EPA的基本控制项目

EPA-I和EPA-II的控制措施要求按照下表实施：

ESD控制措施	一级EPA	二级EPA
静电电压控制标准	小于100V	小于100V
区域封闭性	要求	不要求
出入口单向控制	要求	不要求
防静电标识	要求	要求
防静电地板或地垫	要求	要求
防静电桌垫	要求	要求
防静电腕带	要求	要求
防静电工作手套、指套	要求	要求
防静电工作服	要求	要求
防静电工作鞋	要求	要求
防静电工作椅	要求	要求
腕带测试仪和人体电阻测试仪	要求	要求
防静电烙铁	要求	要求
防静电吸锡器	要求	要求
静电产生材料禁止带入EPA	要求	要求
非防静电包装的拆包	区域外操作或独立工位操作	区域外操作、独立工位操作
离子风静电消除器	要求	可选
腕带桌垫接地在线监控	要求	不要求
用于产品的常用装配、调试及辅助工具防静电	全部要求	部分要求
防静电周转工具	要求	要求
防静电包装材料	要求	要求
静电电压表和表面电阻测试仪	要求	可选
防静电文件袋	要求	要求
防静电液	可选	可选

一级和二级EPA区域的划分及其控制措施主要适用于生产制造系统，其它实体如实验室可以引用但不限于此。

1.3.1 EPA静电电压要求

在防静电工作区内任何物体上的静电电压都不应该超过100V，EPA内任何充电的或可充电电压超过100V的物体应该保持距离静电敏感器件30厘米以上，并使EPA外部的高静电源远离EPA 1米以上距离。

墙壁一般可以在防静电工作区和走廊等非控制区之间提供足够的屏障，但是还是需要测试来验证。如果现有的墙壁不能对静电场提供足够的衰减，那么就需要在墙壁中或墙壁上附加接地的导体层，在墙壁上使用表面活化剂或表面处理也是一种较好的增加墙壁屏蔽效果的方法。部分小区域也可以采用放置金属隔离体（如金属货架等）提高对电场的隔离衰减，对静电防护要求较高的区域可以设计封闭式的防静电工作区。

对进入EPA内的物料、设备、工具应进行ESD审查控制，制定高静电物品的控制措施，特别是一些必须进入EPA的高静电的生产物料，必须有严格的防静电处理措施和操作规程。

1.3.2 高静电电压处理措施

EPA内存在高于100V的静电源必须采取正确的防静电处理措施，如显示器、工具和装备上的静电源、特别是必须进入EPA的高静电生产物料（如不防静电的包装材料，产品上的塑料制品等）。

防静电处理的主要措施有离子化、防静电剂、分区分时操作、屏蔽隔离、接地等。

产品上的塑料材料在生产中的操作、非防静电包装材料的操作应遵守分区和分时操作的原则，即这些静电产生源首先应在EPA外独立专门的区域操作，使其和静电敏感器件隔离，必须进入EPA时应和静电敏感器件分时段操作，避免同时操作时高静电对器件的影响。

对于距离静电敏感器件30厘米以内并且测试电压高于100V的显示器，采用透明的导体屏蔽层（性能优良的视保屏）或相类似的材料是一个很好的方法（要求视保屏的接地）。

当高静电电压通过接地方式泻放处理时应采用软接地方法，接地电阻不得小于1×10⁵ohm，泻放电流不得大于人体安全电流，即5mA，因此特殊条件下应根据电压的实际情况确定接地电阻的大小。

工装和装备中、操作测试过程中有静电难以消散的静电源应考虑使用静电消除装置（如离子风机）或防静电剂。

在制造过程、装备和工装中静电风险较大的部位可以安装静电场（静电电压）自动检测记录传感器，用于监测、统计分析高静电风险部位的静电情况。

1.3.2.1 离子化

如果工作区或局部区域经常存在500V以上的电源电压，或者附近工序的物体是易带静电的，那么静电控制就要使用空气离子化的方法。

离子化是使EPA内的空气产生很多自由的正负离子，正负离子量相等，保持离子浓度平衡，用此大量的处于平衡状态的离子中和静电源产生的电荷，消除高静电电压。离子化的主要设备有离子风机、电离棒等。

离子风机是EPA内较常用的一种防静电处理装置，可以用于各种静电源的消除。例如生产工艺采用的一些辅助材料（胶纸带、标签）的操作、产品上的塑料材料在生产中的操作、非防静电包装材料的操作都使用可以离子风机。

离子风机应按照仪器的使用说明书正确安装操作，如离子风的方向、作用范围、作用距离，定期（至少每月）检测离子平衡度和电荷消散时间，并进行调校。

离子风机的使用维护要求：

A. 对于静电控制中采用离子化方法，必须保证离子化能够一直工作并且安装在合适的位置。

B. 空气离子化必须能够保证对EOS/ESD协会S3.1-1991标准要求的放电平板放置在防静电工作区上，从1000伏下降到100伏的中和时间要求小于10秒（最大风量、作用距离3Fit）。

C. 当空气离子化作为ESD控制的主要方法时，离子化机的性能必须每周测试并纪录。如果离子化机具有不平衡告警功能，那么测试可以按月进行。在任何情况下，都应该至少每月对离子化机的离子平衡度进行测试，以保证在厂家的规格之内。

D. 空气离子化机应该编号而且测试数据按编号来纪录。

E. 电离器的尖端应该按照制造商的要求定期清洁和更换。

F. 核离子器的同位素（如钋-210）应该每年或按照厂家的要求定期更换。

G. 离子化机的特性测试方法：测试充电平板（Charged Plate）的电荷消散时间，同时通过测试浮地的平板上的电压来测试平衡度。

H. 离子风机的平衡度要求小于±15V，静电消散时间要求从1000伏下降到100伏的时间要求小于2秒（中档风量、作用距离1Fit）。

1.3.3 防静电标识

防静电工作区、防静电包装材料和转运工具、设备仪器的接地等都应该具有防静电标识。防静电标识的作用是警示任何靠近防静电工作区的人员，区域内存在静电敏感器件的操作；警示任何接触静电敏感器件的人员，对该器件的操作必须进行静电防护。

防静电标识按照《WI202QA防静电标识规范》 执行。

1.4 防静电地板

EPA的地板材料必须采用静电耗散材料制作，具有减小摩擦起电和利于静电电荷泄放的防静电性能。EPA内的防静电地板是人体静电泻放的主要通道。

禁止在防静电区域内直接使用易于产生静电的地板材料，如木质地板或铺设毛、麻、化纤地毯、塑料及普通地板革、抛光打蜡木地板、普通乙烯树脂的地板等。

允许使用经特殊工艺处理过的水磨石地面和混凝土地面，如事先敷设地线网、渗碳或掺其他导体杂质等。

已有的普通地板如果采用地面抛光防静电地板蜡，该地板只是具有减小摩擦起电的性能，不具有防静电的接地泻放性能，因此该种方法只是一种临时措施，当环境发生变更有必要重新设计防静电地板。

当采用地板下布线方式时，可铺设防静电活动地板。在有些特别的情况下也可以铺设防静电地垫。在普通地面上铺设防静电地垫和防静电活动地板后，都必须保证每块之间实现电连接且使地板和地垫有效接地，应串联1M Ω的电阻接地（即软接地）。

当采用架空布线方式时和新设计防静电地板时，应采用静电耗散材料做为地板制作材料，以保证地板防静电性能的持久性。

防静电地板和地垫表面两点间电阻为1×10⁵Ω< R1< 1×10⁹Ω；及任一点与地之间的系统

接地电阻值为1×10⁵Ω< R< 1×10⁹Ω。

各种地板材料的电阻特性参照下表：

地坪材料名称	泄漏电阻（Ω）	地坪材料名称	泄漏电阻（Ω）
导电性水磨石	10⁵~10⁷	一般涂刷地面	10⁹~10¹²
导电性橡胶	10⁴~10⁸	橡胶	10⁹~10¹³
石	10⁴~10⁹	木、木胶合板	10¹⁰~10¹³
混凝土（干燥）	10⁵~10¹⁰	沥青	10¹¹~10¹³
导电性聚氯乙烯	10⁷~10¹¹	聚氯乙烯（贴面）	10¹²~10¹⁵

防静电地板的使用管理应按照下列要求执行：

⑴ 防静电地板的表面电阻和接地电阻每半年至少测量1 次，记录保存测量结果。

⑵ 在工作地面上使用防静电地垫时，每半年至少检查1次地垫的接地状况并测量表面电阻和接地电阻，记录保存测量结果。

⑶ 采用抛光防静电地板蜡的地面，至少3个月检查测量一次地面的表面电阻，并记录保存测量结果。

⑷ 当地板和地垫上附着有绝缘性的油膜、树脂和橡胶时，应及时清除。地垫的清洗必须使用中性洗涤剂或防静电剂。

⑸ 禁止在防静电地板上使用绝缘性的地板腊。

1.5 防静电工作台

防静电工作台是EPA构成的必要部分，因此防静电工作台也有固定的、移动的和便携式的。

防静电工作台主要采用在工作台上铺设防静电台垫，防静电台垫必须满足下面要求：

⑴ 防静电台垫的尺寸应不小于工作台面的大小。

⑵ 防静电台垫必须正面（即防静电面，绿色和灰色）朝上、背面（即导电面，黑色）朝下铺设。

⑶ 防静电台垫必须串联1MΩ电阻后连接到防静电工作台的公共接地点（Grounding common point），再由工作台的公共接地点直接连接到接地母线上接地。每块台垫必须且只需接一根防静电地线，各个防静电工作台的接地线不能相互串接，应以并联方式与接地母线连接。

⑷ 压接防静电台垫的静电接地线联接端子时应从防静电台垫的正面压下，使其穿过台垫并紧固，以保证电接触良好。

⑸ 防静电台垫上任意两点之间的表面电阻为>1×10⁵ Ω≤1×10⁹ Ω ，防静电台垫上任意一点到防护地线上的的系统接地电阻为≥7.5×10⁵ Ω≤1×10⁹ Ω，防静电台垫上静电泄放至100V以下的时间小于1秒。

⑹ 当防静电台垫上附着有绝缘性的油膜、树脂和其他污物时，应及时使用中性清洗剂或防静电剂进行清洁。

1.6 工作椅

EPA内的操作者所坐的工作椅必须由静电耗散材料制成，具有防静电性能，不得使用普通人造革面、化纤面料或塑料面的椅子，不能用木制椅代替防静电椅。

防静电工作椅上任意一点和人体接触的地方（椅垫，靠背或扶手）到工作椅的任意一个导体脚轮的电阻应该满足>1×10⁵Ω≤1×10⁹Ω（不依赖于相对湿度），到接地线的工作椅系统接地电阻应满足≥7.5×10⁵Ω≤1×10⁹Ω；工作椅表面的摩擦电压必须小于100V或高静电电压泻放到100V以下的时间小于2秒。

采用拖链的方式对工作椅接地的方法在接地电阻上效果非常差，除非工作椅在移动的过程中，否则接地效果非常不好。在清洁的导体地板上，效果会好一些。但是在通常的制造区域，接地链和橡胶的导电脚轮上由于灰尘的原因而容易失效。因此，导电脚轮需要定期清洁。推荐工作椅至少两个脚轮使用金属锌制轮子。

1.7 设备、仪器、工装、工具

防静电工作区内的各种设备、仪器、工装（装备）、工具都应实施静电防护措施，例如接触或靠近静电敏感器件（ESSD）的部分应尽可能使用防静电材料（静电耗散材料），对特殊情况下不可避免须使用非防静电材料（表面电阻R_S≥1.0×10¹¹Ω）时应采用静电中和或定期涂抹抗静电剂、涂层等其他防护措施，有效地消除、抑制或泄放静电。

使用高压电源具有金属外壳的设备、仪器、工装、工具必须选用三芯电源插座，并确保其已可靠连接到保护地线上，以使其配接时设备、仪器、工装、工具的金属外壳能够自动接保护地。插头插入电源插座（通电）时其接地端要首先接地，插头从插座中拔出（断电）时其接地端应最后断开。

防静电工作区内各种设备、仪器、工具、工装的防静电接地，由设备工程师或指定责任人定期检测、维护和监控，每班开工前检查一次，确保其接地良好。

1.7.1.1 设备

落地设备如SMT、波峰焊机、FT自动线、ICT自动线、清洗机、流水线等，台式设备如元器件成型机、半自动或手工插件机等都应直接与电气保护地线相连。

设备上接触ESSD的部件和靠近ESSD的运动摩擦部件必须采用防静电材料或导体材料制作，并保证这些部件具有可靠的接地通路，这些部件禁止使用非防静电材料。设备上的导体部件必须采用硬接地。

具有自动传送带或滚筒式的流水线，线体应接入电气保护地线系统。传送静电敏感器件及组件的流水线的自动传送带应使用防静电材料，其表面电阻R_S：1.0×10⁵ΩS＜1.0×10⁹Ω，并通过静电导体，如静电导体传送轮，与线体连接。

流水线体上的工装板通过其表面的静电导体与线体连接。如果线体不能在正常时间内有效地泻放工装板在流动过程中积聚的静电，则应增设若干个导电轮，并保证每个工装板底部同时与至少两个导电轮始终接触。导电轮全部统一接地。

设备上的台面根据实际需要可以铺设防静电台垫并进行软接地，但是台垫的铺设不得影响设备的正常运行或带来其他危害。

自动流水线体按作业岗位的需要，设置静电放电接地点，以便操作者能随时连接防静电腕带。
1.7.1.2 仪器

防静电区域内使用的测试仪器应具有防静电性能，仪器的电源线必须具有电气保护地线并通过插座与电气保护地连接，仪器的外壳需要采用导线与电气保护地直接连接，实施加强接地措施。

测试仪器系统必须具有公共接地点，并且并联接地（禁止串连接地）保证仪器等电位接地。

1.7.1.3 工装（装备）

装备和工装的结构应使用导体材料和防静电材料进行设计，不应使用容易产生静电的普通塑料材料，在工程中常用的橡胶、塑料、化纤、有机玻璃等高分子材料都属工装慎用材料，有防静电要求时必须对这些材料进行防静电处理或用防静电材料取代。

工装（装备）上和被测件直接接触以及接近被测件的具有摩擦和移动性质的结构件必须使用防静电材料或导体材料，并保证这些部件具有接地通路。

装备外壳、装备上的导体材料应采用硬接地方式，但是接触静电敏感元器件的部分使用了金属材料，如果该金属部件没有构成人体安全隐患时则应当将其进行软接地（例如放在防静电垫上接地）。装备上的静电耗散材料应具有软接地通路，装备设计也要保证被测件接地良好。

测试装备的接地设计应该与测试仪器等同，采用并联接地的公共接地点接地，保证接地路径最短，接地回路最小，不能串联接地，应避免采用外接电缆连接接地回路的设计方式。

如果由于特殊需要，工装上接触静电敏感元器件的部分、运动摩擦部分使用了非防静电材料，则应该采用静电中和或定期涂抹抗静电剂、涂层等其他防护措施。

1.7.1.4 工具及辅助材料

EPA内使用的工具应具有防静电性能，使用AC电源的工具必须具有硬接地措施接入电气保护地，使用电池的工具和气动工具需要采用软接地，接地电阻<1.0×10⁴＜1.0×10⁹Ω。

防静电烙铁的金属外壳应接保护地，烙铁头必须具有硬接地通路，烙铁头的接地电阻要求＜1.0Ω，由于烙铁头的高温氧化问题，日常检查测试时烙铁头接地电阻＜20Ω可以接受。

防静电烙铁、防静电真空吸锡器等电动、气动手工工具在使用前应首先接地。

清洁单板和产品的毛刷必须使用防静电毛刷，材料的电阻满足1.0×10⁴Ω9Ω，摩擦电压小于100V或静电电压耗散到100V以下的时间小于2秒。禁止使用普通塑料毛刷。

工具在使用过程中应不易产生静电，工具手柄若是绝缘材料则应定期涂抹抗静电剂，使其电阻值满足 1.0×10⁶Ω9Ω，并且无安全隐患。

工具上需要接触ESSD的部分应避免使用导体和绝缘材料，接触静电敏感元件的工具如IC起拔器、镊子、吸锡器等必须是静电耗散材料的工具。

用于接触ESSD的一些辅助材料应满足防静电要求，洗涤剂、清洗液、粘胶纸、标签、胶带等材料应选取无腐蚀、不易产生静电、易于泻放静电的防静电材料，如果由于特殊原因选取了非防静电材料，使用时应进行静电中和处理。

单板的清洗应使用中性清洗剂和防静电毛刷，禁止使用普通塑料毛刷，清洗时应带好防静电腕带。

1.7.2 人员

人体的运动和操作过程是产生静电的主要根源，任何进入防静电区域或接触（包括直接和间接接触）ESSD（静电敏感器件）的人员，必须严格遵循防静电规范，贯彻执行静电防护措施。

1.7.3 接地

接地是静电泻放的关键措施，EPA内必须有独立可靠的防静电接地系统，工作中产生的的静电才能安全有效地泻放，避免静电的累积。

防静电接地必须有一个安全可靠的防静电接地母线（防静电地线），所有人体、工作台、台垫、工具等以并联的方式接入防静电接地母线。

1.8 防静电包装材料

1.8.1 防静电包装材料的防静电性能要求

静电敏感器件、组件、产品在生产制造、存放和运输中所使用的包装材料必须是防静电的，因此EPA内所使用的包装材料应该是静电耗散材料，要求其防静电性能指标满足：

表面电阻Rs：1.0×10⁵ Ω< Rs ＜1.0×10⁹ Ω；

体积电阻Rv： 1.0×10⁵ Ω< Rv ＜1.0×10⁹ Ω；

摩擦静电压V_f ：V_f <100V 或在2 秒内下降到100V以下；

屏蔽袋的屏蔽泄漏电压：小于100V。

防静电包装材料必须符合以下一般要求：

1) 用于ESD防护的包装袋、包装盒、隔板应该在明显位置标有生产厂商名称、生产日期和ESD防护标识，防静电海绵和气珠袋类可以无标识。

2) 防静电塑料袋、泡沫、海绵、气珠袋等的材料颜色应采用防静电的通用警示颜色，即粉红色。

3) 用于包装ESD敏感器件、单板、产品的防静电材料在温度为25±5℃和相对湿度为15%±5%的环境下，应满足防静电性能指标要求，并且该材料进入公司后其防静电性能指标至少应保持一年以上。

4) 不允许对用于ESD防护的包装材料使用防静电剂等导电液体作简单的表面涂覆或浸泡处理，其防静电性能应该由材料本身具有的物理特性或塑料材料掺杂导电材料的制作方式来满足。

5) 防静电包装材料的防静电性能必须均匀分部。

6) 用于ESD防护的包装材料不能有异味、不能对所包装的器件有腐蚀作用。

防静电包装材料的防静电性能必须通过检验测试合格才能用于器件、产品包装。新式防静电包装材料必须经过结构设计、工艺部门的评审，经过ESD主管部门进行防静电性能的认证测试，认证合格才可以上编码采购使用；采购来料需要经过公司的来料检验部门（IQC）的接收测试（抽检）合格才能接收；进入公司的防静电包装材料应进行不定期的稽查抽测，用以验证其防静电的有效性。

注意：

A. 此处仅对有防静电要求的物料而言，无防静电要求的包装物料不受此限；

B. 严禁未通过静电安全测试认证的包装材料用于生产和产品；

C. 特殊器件对包装材料的特别要求，按实际需要予以满足。

1.8.2 防静电包装材料的使用

主要有：灰色防静电PE袋、吸塑盒、灰色防静电气泡袋等，同时可以有效利用供应商的器件来料的防静电包装材料（如IC管、IC托盘等），这些防静电包装材料都可以用于静电敏感器件、组件的直接包装或间接包装。

直接包装层指和器件直接接触的材料，例如IC包装管、芯片托盘、卷带、防静电泡沫、防静电胶袋、屏蔽袋、吸塑盒等。

间接包装层指和直接包装层接近的部分，对器件提供防静电、防震等保护但不和器件直接接触，如卷盘、防静电泡沫、防静电胶袋、防静电气泡袋、吸塑盒等，部分包装可能无间接包装。

外包装指物料的最外层包装，如纸箱、木箱等，一般不作防静电要求（但是不能采用高静电的塑料材料作最外层包装），特殊要求根据具体情况处理。

粉红色防静电气泡袋应和屏蔽袋配合使用，用于屏蔽袋外的防震、防挤压碰撞。

粉红色防静电泡沫板和气泡带一般用于用于间接包装，放置在直接的防静电包装材料的外部作填充、防震、防碰撞。

各类静电敏感物料的直接包装材料推荐选取：

物料类别	元器件	组件	单板	部件	整机
典型包装型材	IC管防静电托盘防静电屏蔽袋	防静电屏蔽袋防静电成型泡沫	防静电屏蔽袋防静电吸塑盒防静电泡沫盒	防静电袋(PE袋或屏蔽袋)	防静电袋(PE袋或屏蔽袋)

静电敏感器件原则上应采用法拉第笼的包装方式，即处于屏蔽保护状态之中。因此所有ESSD在使用前不得拆开防静电包装，拆包和器件操作必须在防静电工作台上进行，位于EPA内不被操作的ESSD也必须采用屏蔽包装放置。

严禁在防静电包装材料外部使用普通塑料胶带、拉伸膜等高静电材料缠裹处理，需要捆扎时应采用防静电胶带或橡皮筋。

在日常的ESD检查和例行的ESD稽查中应对生产现场的防静电包装材料（包括器件来料包装）进行防静电性能的抽测，以检验包装材料防静电性能的时间有效性，对于防静电性能失效的包装材料应直接作报废处理。

严重破损、形变、受污染的防静电包装材料也应直接报废更换。

1.8.3 防静电液

防静电液（防静电剂）属于一种导电性喷剂，均匀喷涂于材料表面，以改善材料表面的导电性能，主要应用于绝缘材料表面，可以使绝缘材料的高表面阻抗减低到10⁵～10⁹ohm，使其满足防静电要求，属于一种临时、应急、短期的防静电处理措施。因此采用防静电剂的处理问题应从设计和材料上进行防静电问题的彻底改进。

对于采用表面处理（防静电剂）来提高起防静电性能的效果要保证每周检查并纪录，并且要根据需要及时更新处理，一般处理周期不得少于每月一次。在每年相对湿度小于20%的时间里，要保证更新处理频率至少每周一次。注意：部分表面防静电处理剂有可能导致聚碳酸酯塑料变脆裂缝。

大部分对CRT显示器进行表面防静电剂的处理效果并不足够好，特别是对于开机和关机时浪涌的控制而言。

由于防静电剂改变了材料表面的电性能，因此防静电剂的使用受到限制，材料的表面电性能改变会影响设备或产品的相关电气性能的时（如漏电）严禁使用防静电剂，如产品和设备上有电气连接的部件在使用防静电剂时必须进行相关的实验评审。

防静电剂主要用于工具和工装上的静电产生部件的临时表面处理，产品上一般不允许使用防静电剂。

工装和装备中必须使用的或没有改进的绝缘材料和静电源在使用防静电剂进行防护处理时，应满足要求：

A. 防静电剂的有效性时间很短，对处理部位必须定期（每月或更短）均匀涂覆。

B. 防静电剂原则上只允许对工装和装备上的非加电部位进行涂覆，不允许对产品和器件进行防静电剂涂覆。

C. 防静电剂的使用必须进行试验测试，不能影响工装、装备、产品的电性能，避免漏电现象的发生。

1.9 周转工具

用于EPA内、EPA和EPA之间周转运输的工具必须是防静电的。其防静电性能应满足：

表面电阻Rs：1.0×10³ Ω≤ Rs ＜1.0×10⁹ Ω；

体积电阻Rv： 1.0×10³ Ω≤ Rv ＜1.0×10⁹ Ω；

摩擦静电压V_f ：V_f <100V ；

周转车台面对车轮系统电阻：＜1.0×10⁹ Ω。

常用的转运工具有：周转箱、周转车，防静电器件盒、防静电成形泡沫盒等，防静电周转工具在其醒目位置必须贴有防静电警示标识。

防静电器件盒一般为黑色或深色，主要用于器件的周转和临时存放。

防静电成形泡沫盒一般为粉红色或黑色，主要用于小单板的周转和临时存放。

周转箱通常用于周转或临时存放单板。当周转箱为防静电材料时，一般为黑色，内侧有隔槽，可直接将单板插入其中并保证单板的垂直放置和相互隔离；若周转箱为纸质材料，则单板必须单独采用防静电袋或吸塑盒包装后才可放入纸箱。装入屏蔽袋的单板在纸箱中不能平放，必须竖放，且单板之间须用隔槽或防静电泡沫相互隔开，防止碰撞。

周转车分为单板专用周转车和普通周转车。单板专用周转车专用于单板的转运或临时存放，通常由金属车架、防静电车轮和多层防静电槽位或金属网组成，单板可直接插入槽位或通过周转箱再置于各金属网层上。普通周转车一般未采用防静电材料，必须借助防静电周转箱来转运单板，因此静电敏感物料不得直接采用普通周转车转运，并且要求用于公司生产制造环境的周转车必须是防静电的。

周转车底部必须连接一根金属链条保持周转车金属架和地面的连接。

使用防静电周转车和周转箱较长时间存放单板（如存放于库房）时，应采用防静电屏蔽袋罩住周转车、采用屏蔽袋或周转箱盖板盖住周转箱箱口，以保证其防静电效果并防灰尘。

, n=top width=104>

组件

单板

部件

整机

典型包装

型材

IC管

防静电托盘

防静电屏蔽袋

防静电成型泡沫

防静电屏蔽袋

防静电吸塑盒

防静电泡沫盒

防静电袋(PE袋或屏蔽袋)

严禁在防静电包装材料外部使用普通塑料胶带、拉伸膜等高静电材料缠裹处理，需要捆扎时应采用防静电胶带或橡皮筋。

严重破损、形变、受污染的防静电包装材料也应直接报废更换。

1.8.3 防静电液

大部分对CRT显示器进行表面防静电剂的处理效果并不足够好，特别是对于开机和关机时浪涌的控制而言。

防静电剂主要用于工具和工装上的静电产生部件的临时表面处理，产品上一般不允许使用防静电剂。

工装和装备中必须使用的或没有改进的绝缘材料和静电源在使用防静电剂进行防护处理时，应满足要求：

A. 防静电剂的有效性时间很短，对处理部位必须定期（每月或更短）均匀涂覆。

B. 防静电剂原则上只允许对工装和装备上的非加电部位进行涂覆，不允许对产品和器件进行防静电剂涂覆。

C. 防静电剂的使用必须进行试验测试，不能影响工装、装备、产品的电性能，避免漏电现象的发生。

1.9 周转工具

用于EPA内、EPA和EPA之间周转运输的工具必须是防静电的。其防静电性能应满足：

表面电阻Rs：1.0×10³ Ω≤ Rs ＜1.0×10⁹ Ω；

体积电阻Rv： 1.0×10³ Ω≤ Rv ＜1.0×10⁹ Ω；

摩擦静电压V_f ：V_f <100V ；

周转车台面对车轮系统电阻：＜1.0×10⁹ Ω。

常用的转运工具有：周转箱、周转车，防静电器件盒、防静电成形泡沫盒等，防静电周转工具在其醒目位置必须贴有防静电警示标识。

防静电器件盒一般为黑色或深色，主要用于器件的周转和临时存放。

防静电成形泡沫盒一般为粉红色或黑色，主要用于小单板的周转和临时存放。

周转车底部必须连接一根金属链条保持周转车金属架和地面的连接。

, n=top width=104>

组件

单板

部件

整机

典型包装

型材

IC管

防静电托盘

防静电屏蔽袋

防静电成型泡沫

防静电屏蔽袋

防静电吸塑盒

防静电泡沫盒

防静电袋(PE袋或屏蔽袋)

严禁在防静电包装材料外部使用普通塑料胶带、拉伸膜等高静电材料缠裹处理，需要捆扎时应采用防静电胶带或橡皮筋。

严重破损、形变、受污染的防静电包装材料也应直接报废更换。

1.8.3 防静电液

大部分对CRT显示器进行表面防静电剂的处理效果并不足够好，特别是对于开机和关机时浪涌的控制而言。

防静电剂主要用于工具和工装上的静电产生部件的临时表面处理，产品上一般不允许使用防静电剂。

工装和装备中必须使用的或没有改进的绝缘材料和静电源在使用防静电剂进行防护处理时，应满足要求：

A. 防静电剂的有效性时间很短，对处理部位必须定期（每月或更短）均匀涂覆。

B. 防静电剂原则上只允许对工装和装备上的非加电部位进行涂覆，不允许对产品和器件进行防静电剂涂覆。

C. 防静电剂的使用必须进行试验测试，不能影响工装、装备、产品的电性能，避免漏电现象的发生。

1.9 周转工具

用于EPA内、EPA和EPA之间周转运输的工具必须是防静电的。其防静电性能应满足：

表面电阻Rs：1.0×10³ Ω≤ Rs ＜1.0×10⁹ Ω；

体积电阻Rv： 1.0×10³ Ω≤ Rv ＜1.0×10⁹ Ω；

摩擦静电压V_f ：V_f <100V ；

周转车台面对车轮系统电阻：＜1.0×10⁹ Ω。

常用的转运工具有：周转箱、周转车，防静电器件盒、防静电成形泡沫盒等，防静电周转工具在其醒目位置必须贴有防静电警示标识。

防静电器件盒一般为黑色或深色，主要用于器件的周转和临时存放。

防静电成形泡沫盒一般为粉红色或黑色，主要用于小单板的周转和临时存放。

周转车底部必须连接一根金属链条保持周转车金属架和地面的连接。

, n=top width=104>

组件

单板

部件

整机

典型包装

型材

IC管

防静电托盘

防静电屏蔽袋

防静电成型泡沫

防静电屏蔽袋

防静电吸塑盒

防静电泡沫盒

防静电袋(PE袋或屏蔽袋)

严禁在防静电包装材料外部使用普通塑料胶带、拉伸膜等高静电材料缠裹处理，需要捆扎时应采用防静电胶带或橡皮筋。

严重破损、形变、受污染的防静电包装材料也应直接报废更换。

1.8.3 防静电液

大部分对CRT显示器进行表面防静电剂的处理效果并不足够好，特别是对于开机和关机时浪涌的控制而言。

防静电剂主要用于工具和工装上的静电产生部件的临时表面处理，产品上一般不允许使用防静电剂。

工装和装备中必须使用的或没有改进的绝缘材料和静电源在使用防静电剂进行防护处理时，应满足要求：

A. 防静电剂的有效性时间很短，对处理部位必须定期（每月或更短）均匀涂覆。

B. 防静电剂原则上只允许对工装和装备上的非加电部位进行涂覆，不允许对产品和器件进行防静电剂涂覆。

C. 防静电剂的使用必须进行试验测试，不能影响工装、装备、产品的电性能，避免漏电现象的发生。

1.9 周转工具

用于EPA内、EPA和EPA之间周转运输的工具必须是防静电的。其防静电性能应满足：

表面电阻Rs：1.0×10³ Ω≤ Rs ＜1.0×10⁹ Ω；

体积电阻Rv： 1.0×10³ Ω≤ Rv ＜1.0×10⁹ Ω；

摩擦静电压V_f ：V_f <100V ；

周转车台面对车轮系统电阻：＜1.0×10⁹ Ω。

常用的转运工具有：周转箱、周转车，防静电器件盒、防静电成形泡沫盒等，防静电周转工具在其醒目位置必须贴有防静电警示标识。

防静电器件盒一般为黑色或深色，主要用于器件的周转和临时存放。

防静电成形泡沫盒一般为粉红色或黑色，主要用于小单板的周转和临时存放。

周转车底部必须连接一根金属链条保持周转车金属架和地面的连接。