设备型号：KS-420                                                                     
设备主要特点：
紧凑型设计
标准单台四管（三管可选），减少占地面积。
闭管磷扩散
工艺反应过程中，工艺片在石英管内，Sic桨外置，实现真正意义上的闭管扩散。
各种气体精确控制流量
数字式MFC的运用，比模拟式的控制精度提高，还消除了模拟传输的干扰。保证工艺生产的稳定性。
废气收集系统
带有废气定向回收冷却装置，收集后统一从后部排出。
气体喷淋扩散工艺
POCl₃ ，可采用管内喷淋式引入到各反应区域，有效提高扩散的均匀性。
送片方式
高定位精度和稳定的软着陆装置。采用伺服马达驱动滚轴丝杆，运行平稳可靠，无爬行。推舟速度在5-1000mm/min内无级变化。
封门系统
密封的炉门设计，有效减少炉内热量的损失，并减少了温度恢复时间。与装载区隔离，保证装载区无污染，避免操作人员受有毒气体的损害。
自动压力平衡装置
自动闭环压力控制。实现压力平衡自动处理。（深圳和西电子何先生13632816558）