TESCAN TENSOR 4D 扫描透射电子显微镜

 

高度集成、旋进辅助的分析型 4D- STEM

 

TESCAN TENSOR 是一款中等加速电压、近超高真空的集成 4D-STEM， 用于对功能材料、薄膜、天然和合成颗粒的纳米级形态、化学和结构特性进行多模态表征，具有出色的 4D-STEM 性能和良好的普遍适用性。

 

更全面的获取电子束与样品相互作用的全部信息

4D-STEM 是对材料特性（如形态、化学成分和结构）进行真正的纳米级多模态表征的理想显微镜方法。在 STEM 数据集中的每个像素上，TESCAN TENSOR 都能快速、准确地同步获取衍射花样和 EDS 能谱图。衍射和能谱数据共同揭示了电子束与样品相互作用的全部信息，从而得出各种材料属性。

 

近实时分析和处理 4D-STEM 数据

 

TESCAN TENSOR 具有真正独特的功能是“Explore”，它是 TENSOR 的集成平台，用于实时处理和分析大规模扫描电子衍射数据集。

 

Explore 可以协助材料科学家、半导体科研人员和失效分析工程师以及晶体学家实现 4D-STEM 测量功能，无需 STEM 光学或 4D-STEM 数据分析和后处理方面的专业知识。用户可以根据自己的喜好调整每次 STEM 或 4D-STEM 测量的预设优化光学属性。

 

 

TESCAN TENSOR 为材料科学家、半导体研发和失效分析人员以及晶体学家提供了众多已预设的STEM、4D- STEM和断层扫描测量的参数:

 

STEM BF, ADF 和 HAADF 成像

STEM 晶格像

成分 (能谱分析和元素面扫)

取向 / 物相分布成像

应力分布图

虚拟 STEM

STEM 和 EDS 重构

衍射重构  

 

TESCAN 从零开始开发了全新的 TENSOR，优化了STEM 扫描的同步功能：

 

混合像素的直接电子衍射相机衍射成像

2个无窗EDS探测器(2个大立体角)进行快速地能谱采集

快速，旋进电子束频率高达 72kHz

 一体化的静电束闸

近实时4D-STEM数据分析、处理和可视化软件(TESCAN Explore)

都集成在模块化、中高压、近超高真空 (样品区域真空达到10-6 Pa) 的肖特基场发射电子枪上

 

 

TESCAN TENSOR 是一台可以像扫描电镜一样易于使用的扫透电镜（STEM）。它可以让使用者把时间花在样品分析上，而不是浪费于参数调整。新手用户只需要最少时间的训练，就能很快获得结果。有经验的用户可以使用选配的 API 开发适合自己的测量功能，并通过 HyperSpy、LiberTEM 或 Py4DSTEM 等开放平台的解决方案导出 TENSOR 4D- STEM 的数据集进行离线处理。