TESCAN 聚焦离子束扫描电镜

 

FIB-SEM

双束电镜（FIB-SEM）是一款集成了电子束和离子束的电子显微镜系统。SEM 镜筒提供高分辨成像能力，FIB 镜筒能在成像的同时对样品进行加工处理。双束电镜系统开创了一种全新的应用方式。

 

双束电镜系统的配置使得电子束和离子束的聚焦点重合，这在很多应用中可以获得最优化的结果。这一特点也使得仪器在完成 FIB 铣削任务的同时，可以进行 SEM 实时成像----这对于精度要求极高的 FIB 操作有很大帮助，使得操作性能和工作效率实现重大飞跃。

 

TESCAN 提供两种不同的 FIB 离子源：镓离子和氙等离子体。Ga 离子源 FIB 适用于所有在制造和纳米加工中需要极高精度的应用。另一方面，Xe 等离子体 FIB 具有超高离子束流，能够以高于 Ga-FIB 50倍的效率去除大量材料。在精度方面，我们的高分辨率 Xe 等离子 FIB 可以实现< 15 nm的分辨率，适用于同时要求高效率和高精度的精细加工任务。 

 

TESCAN AMBER

TESCAN SOLARIS

TESCAN AMBER X

TESCAN SOLARIS X

 

 

我们提供多种配置的 FIB-SEM 系统，能够满足从常规工业应用到先进和具有挑战性的工艺应用，这些应用要求在成像和微/纳米机械的复杂工作流程方面达到很高的标准。