D9650 C-SAM 超声波扫描显微镜

 

D9650和上一代产品一样提供了良好的精度和稳健性，增加了一个合并了PolyGate技术和Sonolytics的改进型的电子与软件平台。D9650是理想的用于失效分析、工艺开发、材料特性和小批量生产的工具。

 

产品原理 ：

利用不同材料对超声波声阻抗不同，对声波的吸收和反射程度不同，来探测半导体、元器件的结构、缺陷、对材料做定性分析。

 

特点和优势：

* 带有Multi-Gate 及Probing-Gate 功能的PolyGate 技术可以进行单一及多层自动聚焦成像

* 每频道多达100个Gates

* Windows 10 Sonolytics 2 界面，64字节处理能力

* 线性马达扫描仪可扫描JEDEC托盘

* 带有塔式安装扫描参考平台及样品定位架，更加精准

* 方便使用扫描区域使安装、拆卸更加方便，可以扫描JEDEC托盘或300mm晶圆片

* 定量的B-Scan是Sonoscan独有的分析模式(Q-BAM)

* B-Scan模式提供了虚拟横截面视图，并带有准确的极性、幅值和深度数据

 

 

厂务需求

通用电压 - 90V到250V AC，单相，50/60 Hz，15安培（120V）

外形–直式桌子：长宽高 1.89 x 0.74 x 1.58 m （74.5 x 29.0x 61.9 英寸）