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晶盛机电:已掌握半导体级大直径硅单晶生长设备技术
发布日期:2014-08-25 浏览次数:
24
晶盛机电今日在深交所互动易平台表示,作为国家科技重大专项《极大规模集成电路制造设备及成套工艺》之“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”课题的TDR130A-ZJS全自动单晶硅生长炉产品的承担单位,公司已掌握半导体级大直径硅单晶生长设备设计、制造的先进技术,并将继续保持国内全自动单晶硅生长炉技术的领先地位。
晶盛机电主要从事晶体生长设备及其控制系统的研发、制造和销售,主营产品有全自动单晶硅生长炉、多晶硅铸锭炉及单晶硅生长炉控制系统。
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