HBM模式的静电敏感等级分类
静电敏感器件等级普遍采用人体模式静电放电进行划分（人体带电和器件接触放电），所有的静电敏感器件或组件按照人体模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级：
HUMAN BODY MODEL
CLASS VOLTAGE RANGE
Class 0 0 volts to <=249 volts
Class 1A 250 volts to <=499 volts
Class 1B 500 volts to <=999 volts
Class 1C 1000 volts to <=1999 volts
Class 2 2000 volts to <=3999 volts
Class 3A 4000 volts to <=7999 volts
Class 3B 8000 volts to <=15999 volts
非静电敏感器件 >=16000 volts
MM模式的静电敏感等级分类
器件静电敏感等级的机器模式主要用于器件的自动化处理过程的分析（带电金属和器件接触放电），静电敏感器件或组件按照机器模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级：
MACHINE MODEL
CLASS VOLTAGE RANGE
M1 <100 volts
M2 100 volts to <200 volts
M3 200 volts to <400 volts
M4 >=400 volts$Page_Split$
CDM模式的静电敏感等级分类
器件静电敏感等级的充电器件模式主要用于器件自身带电后的放电分析，静电敏感器件或组件按照充电器件模式静电放电损伤的阈值电压被划分为以下几个等级：
CHARGED DEVICE MODEL
CLASS VOLTAGE RANGE
C1 <125 volts
C2 125 volts to <=250 volts
C3 250 volts to <=500 volts
C4 500 volts to <=1000 volts
C5 1000 volts to <=1500 volts
C6 1500 volts to <=2000 volts
C7 >=2000 volts
附录C： EPA内防静电接地规范
防静电地线的设置
防静电地线专供静电工程器具和人体泄漏静电电荷使用，它不得接在电源零线上，也不得与防雷地线共用。防静电地线有两种敷设方法：
方法1：从专门埋设的地线接地体引出的接地线，单独敷设到生产线的防静电作业岗位；单独敷设的接地导线通常使用3mm厚、约25mm宽的紫铜皮或用截面大约为4~6mm2的铜芯软线单独引入。
方法2：采用三相五线制供电系统中的电气保护地线为防静电地线，引入电源零线的同时，单独引出大地地线作防静电接地线，工程上称为“一点引出电阻隔离”。电源主变电箱引出的电气保护地线通过接地地桩（地线埋设方法）与大地连接，电气保护地线到大地的保护接地电阻应小于4Ω。如下图所示：
使用方法一敷设专门的防静电地线专用于人体、台垫、防静电器具等的防静电软接地，它与电气保护接地线并存，设备、仪器、AC工具等必须以硬接地的方式接入电气保护地线接地，因此EPA内同时需要维护两条接地母线，防止两条接地线的混用，增加一些维护控制的难度。该种方式主要用于静电非常敏感的器件操作环境，如IC制造、光器件制造、磁头制造等。
方法二中采用电气保护地线为防静电地线，电气保护地线接地可靠，有例行的维护，便于控制。人体腕带、台垫、防静电器具等串连1MΩ的电阻接入电气保护地线（软接地），设备、仪器、AC工具等直接接入电气保护地线（硬接地）。
通常防静电接地母线采用方法二，即用电气保护地线作为防静电地线。
埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数愈小愈好；接地体与土壤的接触面积要大，接触密度要高，接触要紧。埋设地线需要注意：接地线与接地体接头必须焊接牢固，要有足够的机械强度，引线不要过长；要采用耐腐蚀的接地体金属。
电气保护地线应该按照动力配电安全管理制度定期进行检测维护，每半年至少检测一次地线配置系统电阻值，要求室内电气保护地线到大地的接地电阻小于4Ω。