接地电阻 Earth Resistance 被接地体与地下零电位面之间接地引线电阻、接地器电阻、接地器与土壤之间的过渡电阻和土壤的溢流电阻之和。
泄漏电阻 Leakage Resistance 物体在不带电的情况下，从被测点到接地连接系统间的等效电阻。
静电泄漏通道 Channel of Electrostatic Leakage 带电区的静电荷通过带电体内部和表面而使之泄漏的途径。
人体接地 Human Body Grounding 通过使用导电垫、导电地面、导电鞋、腕带或其它各种接地用具使人体与大地保持通导状态的措施。
（静电）连接 （Electrostatic） Connection 将彼此间没有良好导电通路的物体进行导电性连接，使相互间大体上处于相同电位的措施。
静电接地连接系统 Electrostatic Connection System of Grounding 带电体上的电荷向大地汇漏、消散的外界导出通道。
接地电极 Grounding Electrode 埋入大地以便与大地良好接触的导体或几个导体的组合。
防静电 Antistatic 这个术语指防止摩擦或感应电荷产生，它不是一种材料类型。材料通过防静电媒质处理后可以减少静电荷的产生。
防静电操作系统 Electrostatic Operating System 根据防静电要求，为建立保护面积和进行保护性操作所必须配置的设施和工具的统称。
人体静电防护系统 Static Protective System of Human Body 人体静电防护系统主要由防静电工作服、腕带、鞋袜、帽、手套或指套、围裙、脚套等组成。这种整体的防护系统兼具有静电泄露、中和与屏蔽的功能。
人体防静电接地系统 Electrostatic Grounding System of Human Body 人体防静电接地系统是为有效泻放人体表面的静电、防止静电积累而构建的一套连接人体和大地的完整接地通路，主要由防静电腕带或脚环、防静电鞋、防静电台垫、防静电地面或地垫、接地支线和公共接地线组成。
静电消除器 Electrostatic Eliminator 一种能产生消除带电体上的电荷所必要的正负离子的设备或装置。
放射性静电消除器 Radioactive Static Eliminator 利用放射性同位素产生的射线，使周围空气电离成正负离子，以中和积聚在带电体上的表面异性电荷的一促静电消除装置。
离子化静电消除器 Ionizing Static Eliminator 凡利用空气电离以产生为中和带电体上的表面异性电荷所必须的正负离子的各种型式静电消除装置的统称。
电晕放电式静电消除器（外加电源式静电消除器） Static Eliminator by Corona Discharge 利用外加电源能量使电极发生电晕放电，从而产生为中和带电体上的表面异性电荷所必须要正负离子的一种静电消除装置。
自感应式静电消除器（自放电式静电消除器） Static Eliminator by Self Inductance 利用带电体自身的静电能量感应于电极，借此电晕放电而产生正负离子，以中和原带电体上的表面异性电荷的一种静电消除装置。
ESD敏感器件的分类和等级
技术文档和失效分析显示器件的ESD失效和一系列相互关联的效应有关。一些影响器件ESD敏感程度的因素包括ESD电流、能量包络、放电的上升时间、器件设计、制造技术和器件的封装类型等。能量型敏感器件的损伤是由于流过双极性结电阻、保护电阻或者保护MOS三极管的过电流引起。电压敏感性器件的损伤是由于ESD电压超过了器件的击穿电压引起。为了比较不同器件的ESD敏感度等级，逐渐发展了三种测试模型，分别为人体模型（HBM）、机器模型（MM）和带电器件模型（CDM），其中最常用的模型为人体模型（HBM）。