防静电相关要求

防静电工作台是EPA构成的必要部分，因此防静电工作台也有固定的、移动的和便携式的。

防静电工作台主要采用在工作台上铺设防静电台垫，防静电台垫必须满足下面要求：

⑴    防静电台垫的尺寸应不小于工作台面的大小。

⑵    防静电台垫必须正面（即防静电面，绿色和灰色）朝上、背面（即导电面，黑色）朝下铺设。

⑶    防静电台垫必须串联1MΩ电阻后连接到防静电工作台的公共接地点（Grounding common point），再由工作台的公共接地点直接连接到接地母线上接地。每块台垫必须且只需接一根防静电地线，各个防静电工作台的接地线不能相互串接，应以并联方式与接地母线连接。

⑷    压接防静电台垫的静电接地线联接端子时应从防静电台垫的正面压下，使其穿过台垫并紧固，以保证电接触良好。

⑸    防静电台垫上任意两点之间的表面电阻为>1×10⁵ Ω≤1×10⁹ Ω ，防静电台垫上任意一点到防护地线上的的系统接地电阻为≥7.5×10⁵ Ω≤1×10⁹ Ω，防静电台垫上静电泄放至100V以下的时间小于1秒。

⑹    当防静电台垫上附着有绝缘性的油膜、树脂和其他污物时，应及时使用中性清洗剂或防静电剂进行清洁。

 

EPA内的操作者所坐的工作椅必须由静电耗散材料制成，具有防静电性能，不得使用普通人造革面、化纤面料或塑料面的椅子，不能用木制椅代替防静电椅。

防静电工作椅上任意一点和人体接触的地方（椅垫，靠背或扶手）到工作椅的任意一个导体脚轮的电阻应该满足>1×10⁵Ω≤1×10⁹Ω（不依赖于相对湿度），到接地线的工作椅系统接地电阻应满足≥7.5×10⁵Ω≤1×10⁹Ω；工作椅表面的摩擦电压必须小于100V或高静电电压泻放到100V以下的时间小于2秒。

采用拖链的方式对工作椅接地的方法在接地电阻上效果非常差，除非工作椅在移动的过程中，否则接地效果非常不好。在清洁的导体地板上，效果会好一些。但是在通常的制造区域，接地链和橡胶的导电脚轮上由于灰尘的原因而容易失效。因此，导电脚轮需要定期清洁。推荐工作椅至少两个脚轮使用金属锌制轮子。

 

防静电工作区内的各种设备、仪器、工装（装备）、工具都应实施静电防护措施，例如接触或靠近静电敏感器件（ESSD）的部分应尽可能使用防静电材料（静电耗散材料），对特殊情况下不可避免须使用非防静电材料（表面电阻R_S≥1.0×10¹¹Ω）时应采用静电中和或定期涂抹抗静电剂、涂层等其他防护措施，有效地消除、抑制或泄放静电。

使用高压电源具有金属外壳的设备、仪器、工装、工具必须选用三芯电源插座，并确保其已可靠连接到保护地线上，以使其配接时设备、仪器、工装、工具的金属外壳能够自动接保护地。插头插入电源插座（通电）时其接地端要首先接地，插头从插座中拔出（断电）时其接地端应最后断开。

防静电工作区内各种设备、仪器、工具、工装的防静电接地，由设备工程师或指定责任人定期检测、维护和监控，每班开工前检查一次，确保其接地良好。

落地设备如SMT、波峰焊机、FT自动线、ICT自动线、清洗机、流水线等，台式设备如元器件成型机、半自动或手工插件机等都应直接与电气保护地线相连。

设备上接触ESSD的部件和靠近ESSD的运动摩擦部件必须采用防静电材料或导体材料制作，并保证这些部件具有可靠的接地通路，这些部件禁止使用非防静电材料。设备上的导体部件必须采用硬接地。

具有自动传送带或滚筒式的流水线，线体应接入电气保护地线系统。  传送静电敏感器件及组件的流水线的自动传送带应使用防静电材料，其表面电阻R_S：1.0×10⁵ΩS＜1.0×10⁹Ω，并通过静电导体，如静电导体传送轮，与线体连接。

流水线体上的工装板通过其表面的静电导体与线体连接。如果线体不能在正常时间内有效地泻放工装板在流动过程中积聚的静电，则应增设若干个导电轮，并保证每个工装板底部同时与至少两个导电轮始终接触。导电轮全部统一接地。

设备上的台面根据实际需要可以铺设防静电台垫并进行软接地，但是台垫的铺设不得影响设备的正常运行或带来其他危害。

自动流水线体按作业岗位的需要，设置静电放电接地点，以便操作者能随时连接防静电腕带。