1.3.3 防静电标识
防静电工作区、防静电包装材料和转运工具、设备仪器的接地等都应该具有防静电标识。防静电标识的作用是警示任何靠近防静电工作区的人员,区域内存在静电敏感器件的操作;警示任何接触静电敏感器件的人员,对该器件的操作必须进行静电防护。
防静电标识按照《WI202QA防静电标识规范》 执行。
1.4 防静电地板
EPA的地板材料必须采用静电耗散材料制作,具有减小摩擦起电和利于静电电荷泄放的防静电性能。EPA内的防静电地板是人体静电泻放的主要通道。
禁止在防静电区域内直接使用易于产生静电的地板材料,如木质地板或铺设毛、麻、化纤地毯、塑料及普通地板革、抛光打蜡木地板、普通乙烯树脂的地板等。
允许使用经特殊工艺处理过的水磨石地面和混凝土地面,如事先敷设地线网、渗碳或掺其他导体杂质等。
已有的普通地板如果采用地面抛光防静电地板蜡,该地板只是具有减小摩擦起电的性能,不具有防静电的接地泻放性能,因此该种方法只是一种临时措施,当环境发生变更有必要重新设计防静电地板。
当采用地板下布线方式时,可铺设防静电活动地板。在有些特别的情况下也可以铺设防静电地垫。在普通地面上铺设防静电地垫和防静电活动地板后,都必须保证每块之间实现电连接且使地板和地垫有效接地,应串联1M Ω的电阻接地(即软接地)。
当采用架空布线方式时和新设计防静电地板时,应采用静电耗散材料做为地板制作材料,以保证地板防静电性能的持久性。
防静电地板和地垫表面两点间电阻为1×105Ω< R1< 1×109Ω;及任一点与地之间的系统
接地电阻值为1×105Ω< R< 1×109Ω。
各种地板材料的电阻特性参照下表:
地坪材料名称
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泄漏电阻(Ω)
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地坪材料名称
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泄漏电阻(Ω)
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导电性水磨石
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105~107
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一般涂刷地面
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109~1012
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导电性橡胶
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104~108
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橡胶
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109~1013
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石
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104~109
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木、木胶合板
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1010~1013
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混凝土(干燥)
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105~1010
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沥青
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1011~1013
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导电性聚氯乙烯
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107~1011
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聚氯乙烯(贴面)
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1012~1015
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防静电地板的使用管理应按照下列要求执行:
⑴ 防静电地板的表面电阻和接地电阻每半年至少测量1 次,记录保存测量结果。
⑵ 在工作地面上使用防静电地垫时,每半年至少检查1次地垫的接地状况并测量表面电阻和接地电阻,记录保存测量结果。
⑶ 采用抛光防静电地板蜡的地面,至少3个月检查测量一次地面的表面电阻,并记录保存测量结果。
⑷ 当地板和地垫上附着有绝缘性的油膜、树脂和橡胶时,应及时清除。地垫的清洗必须使用中性洗涤剂或防静电剂。
⑸ 禁止在防静电地板上使用绝缘性的地板腊。