1.3.2 高静电电压处理措施
EPA内存在高于100V的静电源必须采取正确的防静电处理措施，如显示器、工具和装备上的静电源、特别是必须进入EPA的高静电生产物料（如不防静电的包装材料，产品上的塑料制品等）。
防静电处理的主要措施有离子化、防静电剂、分区分时操作、屏蔽隔离、接地等。
产品上的塑料材料在生产中的操作、非防静电包装材料的操作应遵守分区和分时操作的原则，即这些静电产生源首先应在EPA外独立专门的区域操作，使其和静电敏感器件隔离，必须进入EPA时应和静电敏感器件分时段操作，避免同时操作时高静电对器件的影响。
对于距离静电敏感器件30厘米以内并且测试电压高于100V的显示器，采用透明的导体屏蔽层（性能优良的视保屏）或相类似的材料是一个很好的方法（要求视保屏的接地）。
当高静电电压通过接地方式泻放处理时应采用软接地方法，接地电阻不得小于1×105ohm，泻放电流不得大于人体安全电流，即5mA，因此特殊条件下应根据电压的实际情况确定接地电阻的大小。
工装和装备中、操作测试过程中有静电难以消散的静电源应考虑使用静电消除装置（如离子风机）或防静电剂。
在制造过程、装备和工装中静电风险较大的部位可以安装静电场（静电电压）自动检测记录传感器，用于监测、统计分析高静电风险部位的静电情况。
1.3.2.1 离子化
如果工作区或局部区域经常存在500V以上的电源电压，或者附近工序的物体是易带静电的，那么静电控制就要使用空气离子化的方法。
离子化是使EPA内的空气产生很多自由的正负离子，正负离子量相等，保持离子浓度平衡，用此大量的处于平衡状态的离子中和静电源产生的电荷，消除高静电电压。离子化的主要设备有离子风机、电离棒等。
离子风机是EPA内较常用的一种防静电处理装置，可以用于各种静电源的消除。例如生产工艺采用的一些辅助材料（胶纸带、标签）的操作、产品上的塑料材料在生产中的操作、非防静电包装材料的操作都使用可以离子风机。
离子风机应按照仪器的使用说明书正确安装操作，如离子风的方向、作用范围、作用距离，定期（至少每月）检测离子平衡度和电荷消散时间，并进行调校。
离子风机的使用维护要求：
A. 对于静电控制中采用离子化方法，必须保证离子化能够一直工作并且安装在合适的位置。
B. 空气离子化必须能够保证对EOS/ESD协会S3.1-1991标准要求的放电平板放置在防静电工作区上，从1000伏下降到100伏的中和时间要求小于10秒（最大风量、作用距离3Fit）。
C. 当空气离子化作为ESD控制的主要方法时，离子化机的性能必须每周测试并纪录。如果离子化机具有不平衡告警功能，那么测试可以按月进行。在任何情况下，都应该至少每月对离子化机的离子平衡度进行测试，以保证在厂家的规格之内。
D. 空气离子化机应该编号而且测试数据按编号来纪录。
E. 电离器的尖端应该按照制造商的要求定期清洁和更换。
F. 核离子器的同位素（如钋-210）应该每年或按照厂家的要求定期更换。
G. 离子化机的特性测试方法：测试充电平板（Charged Plate）的电荷消散时间，同时通过测试浮地的平板上的电压来测试平衡度。
H. 离子风机的平衡度要求小于±15V，静电消散时间要求从1000伏下降到100伏的时间要求小于2秒（中档风量、作用距离1Fit）。