1.3 EPA的基本控制项目
EPA-I和EPA-II的控制措施要求按照下表实施:
ESD控制措施
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一级EPA
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二级EPA
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静电电压控制标准
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小于100V
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小于100V
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区域封闭性
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要求
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不要求
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出入口单向控制
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要求
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不要求
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防静电标识
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要求
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要求
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防静电地板或地垫
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要求
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要求
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防静电桌垫
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要求
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要求
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防静电腕带
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要求
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要求
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防静电工作手套、指套
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要求
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要求
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防静电工作服
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要求
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要求
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防静电工作鞋
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要求
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要求
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防静电工作椅
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要求
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要求
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腕带测试仪和人体电阻测试仪
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要求
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要求
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防静电烙铁
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要求
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要求
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防静电吸锡器
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要求
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要求
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静电产生材料禁止带入EPA
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要求
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要求
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非防静电包装的拆包
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区域外操作或独立工位操作
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区域外操作、独立工位操作
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离子风静电消除器
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要求
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可选
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腕带桌垫接地在线监控
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要求
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不要求
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用于产品的常用装配、调试及辅助工具防静电
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全部要求
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部分要求
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防静电周转工具
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要求
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要求
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防静电包装材料
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要求
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要求
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静电电压表和表面电阻测试仪
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要求
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可选
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防静电文件袋
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要求
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要求
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防静电液
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可选
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可选
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一级和二级EPA区域的划分及其控制措施主要适用于生产制造系统,其它实体如实验室可以引用但不限于此。
1.3.1 EPA静电电压要求
在防静电工作区内任何物体上的静电电压都不应该超过100V,EPA内任何充电的或可充电电压超过100V的物体应该保持距离静电敏感器件30厘米以上,并使EPA外部的高静电源远离EPA 1米以上距离。
墙壁一般可以在防静电工作区和走廊等非控制区之间提供足够的屏障,但是还是需要测试来验证。如果现有的墙壁不能对静电场提供足够的衰减,那么就需要在墙壁中或墙壁上附加接地的导体层,在墙壁上使用表面活化剂或表面处理也是一种较好的增加墙壁屏蔽效果的方法。部分小区域也可以采用放置金属隔离体(如金属货架等)提高对电场的隔离衰减,对静电防护要求较高的区域可以设计封闭式的防静电工作区。
对进入EPA内的物料、设备、工具应进行ESD审查控制,制定高静电物品的控制措施,特别是一些必须进入EPA的高静电的生产物料,必须有严格的防静电处理措施和操作规程。