DEK于2004年Semicon China上宣布推出微米级的高端丝网印刷机Galaxy。此次展出的是配合DirEKt印刷技术的半导体植球方案。沈惠磐称,目前客户已经能够基于这台设备进行0.25mm、以及0.25mm以下直径(比如0.17mm)植球的大批量生产。他更进一步表示,其所在的这家公司已经实现了基于Galaxy印刷机的0.07mm直径的实验室植球生产。“但是鉴于半导体行业的特殊性,我们还需要在良率问题上进行进一步的研究。”他说。
由CHAD提供的晶圆处理器被放置在上述两台印刷机之间——无论背覆或是植球,这台处理器都能根据制造的要求计算晶圆片数并完成最终的定位。
“晶圆处理器实际上起到的是一个机械手的作用。”沈惠磐表示。他表示,之所以一同展出这台设备,主要是为了体现DEK在高度灵活性方面为电子制造商所带来的价值。“随着技术的进步,电子制造业对于设备的要求也在不断发生着变化。他们可能今天会有这样的要求,明天又有那样的要求。很显然,仅仅拥有某个单一功能的机器是无法满足用户这样多变的要求的。”沈惠磐解释说,“DEK的价值正在于此——同样的印刷机,在经过不同的配置之后,能够实现不同的功能,比如被覆或者植球。”